利用JSM-7800F觀察太陽能電池截面

SM相關產品:JSM-7800F, CP IB-19500CP    領域:觀察太陽能電池的截面

利用JSM-7800F觀察CP加工的太陽能電池截面
      近年來在太陽能電池的研究中,光電轉換效率非常高的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池 (CIGS) 倍受矚目。觀察CIGS的多層膜結構在研究中占有重要地位,需要結合EDS、EBSD等技術進行多 種測試分析。下面介紹使用CP (截面拋光儀)和配置在JSM-7800F下方的背散射電子檢測器 (BED)進行觀察的實例。

CIGS的背散射電子像及EDS分析

下面是對太陽能電池的切割加工截面和CP加工截面的背散射電子像的觀察。在左圖中,可以看到 解理面上沿晶粒邊界呈現出凹凸不平,而右圖中使用CP加工的截面非常光滑,因此能清晰地觀察到 左圖中不明確的、存在于ZnO和CIGS之間的CdS層因成分不同形成的襯度差異,以及由于因晶體取向 不同形成的通道襯度。配置在下方的背散射電子檢測器(BED)檢測低角度背散射電子,能獲得增強 了通道襯度的圖像,由于在大WD下也能夠高效率地檢測電子,因此在獲取背散射電子像的同時還能 進行EDS面分布。

資料提供: 東京工業大學 山田研究室

SEM觀察

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  EDS分析

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